氬氣的純度要控制在99.9%以上，其中雜質氧小于0.005%以下，氫0.005%以下，水份0.02mg/L以下，氮0.015%以下。氧、氮增多均惡化陰極霧化作用。氧超過0.3%則使鎢極燒損加劇，超過0.1%氧則使焊縫表面無光澤或發黑，氮超過0.05%熔池的流動性變壞，焊接表面成形不良。